真空驱动解决方案：真空步进电机产品系列之美国篇

上次小编给大家整理了欧洲知名的真空驱动解决方案企业，今天小编再来一个续集：真空驱动解决方案：真空步进电机产品系列之美国篇，顾名思义，这里介绍的是美国的真空驱动公司 。话不多说，上硬货！

Empire Magnetics, Inc. - www.empiremagnetics.com
- 5830 Commerce Blvd Rohnert Park, CA 94928, USA

电子邮件、电话。

Empire Magnetics 提供优质电机产品，专为在普通电机不适用的环境和应用中运行而设计。

产品：   真空额定电机

VX - 实验室级真空产品
该电机的真空额定值为 10-7 Torr。内部额定温度为内部 180o C，外壳为 155o。轴承润滑剂蒸气压在 100o C 时低于 10-9 Torr。该电机经过清洁和烘烤，并经过专有的提取过程以去除污染物。应在洁净室条件下戴尼龙手套处理。
VX 级是我们提供的优质产品。它通常用于客户担心极少量污染的情况。一些应用是：基于空间的光学系统、半导体制造室和电子束设备。

VS - 标准级真空产品
这些产品的真空等级为 10-7 Torr，内部温度等级为 155o C，外壳温度等级为 130o。轴承润滑剂蒸气压在 100o C 时低于 10-8 Torr。该电机经过工业清洁过程，真空烘烤以促进残留污染物的脱气，并用尼龙袋密封。
VS 等级是我们提供的“标准”产品。它通常用于非常干净就足够好的情况。通常VS级用于真空腔室经常打开的应用，外部空气的污染通常会超过VS级设备的污染，因此被认为适合该应用。

VC - 商业级真空产品
商业级的真空等级为 10-6 Torr。这些电机的内部额定温度为 130o C，外壳额定温度为 105o。轴承润滑剂蒸气压在 100o C 时低于 10-6 Torr。该电机会放出少量汽化产物，无需特殊处理。

Haydon Kerk Motion Solutions, Inc - www.haydonkerk.com
- 1500 Meriden Road, Waterbury, CT 06705 USA

电子邮件、电话。+1 800 243 2715

产品：   Haydon™ 专业清洁电机 HaydonKerk 的清洁电机

专为污染敏感应用、洁净室环境和高真空系统内的环境而设计，旨在限制真空环境中的污染物和除气。如果电机在其额定工作温度以下运行，Haydon™ Clean Motors 将在低至 10-8 Torr 的真空中存活。为确保真空环境中的排气量最少，清洁电机产品经过特殊处理并使用以专有工艺制造的零件。Clean Motors 由非挥发性材料制成，使用超声波设备彻底清洁，然后在高温下真空烘烤以提取污染物。

 Lin Engineering公司。- www.linengineering.com
- 16245 Vineyard Blvd, Morgan Hill, CA 95037, USA

电子邮件、电话。+1 408-919-0200 Lin Engineering 于 1987 年由 Ted T. Lin 创立，最初 是一家专门从事步进电机应用的咨询公司。纵观其历史，Lin Engineering 不断发展其在设计工程、制造和客户服务领域的能力。 1991 年，Lin Engineering 扩大了其业务，包括制造自己的混合步进电机。从那时起，该公司开发了其产品线，包括驱动器、光学编码器、正齿轮和行星齿轮箱以及步进电机驱动器。

产品：   额定真空电机

额定真空步进电机专为在需要避免放气的洁净室环境中运行而制造：
- 125°C 时的真空额定值高达 10-7 Torr
-
用于半导体环境、光学环境的特殊绕组和聚四氟乙烯引线 , 卫星

Mad City Labs Inc. - www.madcitylabs.com
- 2524 Todd Drive, Madison, WI 53713, USA

电子邮件、电话。+1 (608) 298-0855 Mad City Labs, Inc 是一家领先的基于弯曲的纳米定位系统制造商，该系统能够实现亚纳米定位分辨率。我们的产品线涵盖整个纳米定位能力范围，同时在高速光学显微镜成像的多轴平台中保持领先地位。

产品：   MadMotor-UHV 精密压电马达

MadMotor™-UHV 是一种精密的压电马达驱动微定位系统，用于长行程范围内的高精度对准。MadMotor™-UHV 平台使用我们专有的 MadMotor™ 压电电机技术，每轴行程可达 10 毫米，具有高分辨率和出色的可重复性。可选的涡流传感器在整个行程范围内提供 500nm 的灵敏度。

利用 Mad City Labs 在工程和制造超高真空 (UHV) 仪器方面的丰富经验，MadMotor™-UHV 真空兼容 1 x 10-11 mbar。我们经验丰富的工程人员精心设计了 MadMotor™-UHV 级，以满足 UHV 运行的严格要求。Mad City Labs 在 UHV 仪器方面的实践经验为我们选择材料提供了信息，只有满足我们的实用和技术标准的最佳材料才能确定等级。MadMotor™-UHV 载物台的设计能够承受样品转移的严酷考验，这通常会损坏更精密的压电电机设计。此外，我们的 MadMotor™-UHV 平台能够承受高达 150°C 的长时间烘烤。其结果，

MadMotor™-UHV 包括 Mad-Drive™，它是具有集成 DSP 和 USB 接口的 1、2 或 3 轴压电电机驱动器。Mad-Drive™ 可以通过 MadMotor™ DLL 接口（已提供）进行编程以执行复杂的运动功能。与其他压电电机不同，MadMotor™ DLL 允许用户将 MadMotor™-UHV 视为具有可变步长和步进距离的简单步进电机。Mad-Drive™ 控制器与 LabVIEW 兼容，系统提供 LabVIEW 运动控制示例。还提供可选的无线操纵杆控制。MadMotor™-UHVstages 设计用于法兰安装或独立式配置，并与各种 Mad City Labs 真空纳米定位系统兼容。MadMotor™-UHV 可以根据您的应用进行定制。联系我们的工程人员了解更多信息。

Phytron Inc. - www.phytron.com
- 600 Blair Park Road, Suite 220, Williston, VT 05495, USA

电子邮件、电话。+1 802 872-1600 Phytron 于 1947 年基于这些价值观成立，此后发展成为步进电机和控制设备行业的国际领先制造商。

产品：   真空步进电机 VSS / VSH：19 – 125 mm

Phytron 的 VSS 步进电机是 30 多年空间技术经验的结晶。专门设计的两相混合式步进电机可用于高达 10 -11 hPa 的真空环境。它们是特殊环境的最佳选择，例如深度和高温或极端辐射强度。

Princeton Research Instruments, Inc. - www.prileeduhv.com
- 42 Cherry Valley Road, Princeton, NJ 08542 USA

电子邮件，电话。+1 (609) 924-0570

我们制造用于超高真空 (UHV) 的科学仪器，包括反向观察低能电子衍射 (LEED) 系统、10 kV 高能电子衍射 (HEED) 系统和真空运动系统（步进电机、定位平台和电机控制器）。

产品：   真空运动系统

Princeton Research Instruments, Inc. 提供微型真空步进电机、电动载物台和附件，可在不使用机械馈通件的情况下在高真空和超高真空中提供旋转或平移运动。这些产品为传统机械馈通提供了独特、高效的替代方案。提供全系列附件，包括联轴器、夹子、电缆、电气馈通件等。