Advanced Energy 全新推出的功率测量仪可提升高精度射频功率系统的准确性和性能

Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案，这方面的技术更一直领先全球。该公司宣布推出一款型号为 GEMINI  5540A 的射频功率测量仪。这款全新的功率测量仪内置一组高度灵活、方便易用而又高度集成的测量电路，可支持高度精确的在线射频功率测量功能，而且适用于必须配备高精度射频功率控制功能的方案，例如半导体、通信系统、工业制品和医疗设备等产品。Advanced Energy 一直是半导体产品射频功率解决方案的市场领导者，今后该公司会继续努力研发全新的技术，以改善等离子电源功率控制功能，以及提升先进蚀刻和沉积制程工艺的性能。

GEMINI 5540A 是一款将传感器和测量仪表合二为一的仪器，不但容易使用，而且还可在 0.2 至 200MHz 之间的频率范围以及 3 至 5,000W 的功率范围内执行测量功能，其 2-sigma 准确度达 ±0.5% + 0.5 W。这是一款高度集成的测量仪器，用户只需采用一个测量仪表，便可取代多种不同的测量仪器，最适用于需要准确测量和控制其射频功率的设备。

Advanced Energy 关键传感和控制产品副总裁 Gerry Blumenstock 表示：「技术要求极为严格的半导体制程工艺，例如高深宽比(HAR)等离子蚀刻、高精度控制和射频系统的腔室匹配等制程工艺，其性能直接受所采用的技术影响。OEM厂商只要采用 Advanced Energy 这项全新的 GEMINI 5540A 测量技术，便可准确校正系统以及实时监测其射频功率，提高先进等离子制程工艺的保真度和一致性。」

GEMINI 5540A 射频功率测量仪配备一个较大而又易于阅读的OLED数字显示器，可同时显示正向和反向功率、电压驻波比(VSWR)和频率，而且无需为正向和反向功率测量重新配置，也可自动检测频率。这款测量仪可将校正次数减少至每12个月一次。相较之下，传统的测量仪器则需要每6个月校正一次。这款射频功率测量仪以5V输入电压、500mA输入电流进行操作，但要通过标准的USB 2.0 端口连接外置电池或交流电源插座，利用交流电时则要采用已有现货供应的USB适配器。

这款测量仪除了可直接用来测量之外，也可连接计算机，以便与 Advanced Energy 的 GEMINI Tools 数据视觉化软件搭配一起，执行数据搜集、存储和审核功能。