国内首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线
据国家智能传感器创新中心消息，6 月 30 日，由国家智能传感器创新中心建设的国内首条 12 英寸先进传感器中试线成功通线。据介绍，该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气…
2021-12-03 13:26:09
235
标签：
先进传感器
据国家智能传感器创新中心消息，6 月 30 日，由国家智能传感器创新中心建设的国内首条 12 英寸先进传感器中试线成功通线。据介绍，该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气…
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